超高真空部品、カプトン電線、真空コネクター、電流導入端子等

「SEMICON Japan 2022」にSVCS Process Innovation 社と共同出展いたしました。

出展ブースでは、SVCS社および株式会社堀場エステックがNEDO（国立研究開発法人新エネルギー

・産業技術総合開発機構）およびTAČR（チェコ技術庁）の事業採択を経て開発をすすめている　

「Minimal Fab （ミニマルファブ）」規格にあわせたALD装置を紹介いたしました。

多数の皆様にご来場を頂きありがとうございました。

・期　間　：　2022年12月14日（水）～12月16日（金）　10：00～17：00

・会　場　：　東京ビッグサイト（東京都江東区有明3-11-1）

・主　催　：　SEMI　

・出展品　： [SVCS Process Innovation s.r.o. ・チェコ] ‐共同出展社

　　　　　　　　LP/PE-CVD熱反射炉、拡散熱反応炉、高純度ガス供給システム概要

　　　　　　　　[Allectra GmbH ・ドイツ]　　

　　　　　　　　カプトン絶縁被覆電線、SMA・D-sub真空内外接続部品

　　　　　　　　真空内温度測定用・温度制御用部品、光ファイバー真空内外接続部品等

　　　　　　　　[Biallec GmbH ・ドイツ]

　　　　　　　　アルミニウムチャンバー用フランジ、継手、配管

　　　　　　　　耐熱ガラス製及び石英製の配管、高圧・高温対応の各種のチェーンクランプ
　　　　　　　　及び金属シール

　　　　　　　　[Atlas Bimetal Labs ・アメリカ]

　　　　　　　　複層金属フランジ・継手（アルミニウム・ステンレス接合）

　　◆　ワイテック紹介ページ　日本語・英語