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■　X線・EUV光学素子、検出器       　             ◆　X線・EUV検出器     1）　シリコンフォトダイオード用接続部品       規格コネクター内蔵ダイオード接続   ピンタイプパッケージダイオード接続   ダイオード用テフロンソケット接続