型 式
熱電対数
ヒーター線b)
フランジタイプc)
本数
直径[ mm ]
材質
最大電流[ A ]
最大電圧[ kV]
263AC-TCK-1-CU15-C16
1
2
1.3
Cu
15
DN16CF
263AC-TCK-1-NI5-C16
Ni
5
263AC-TCK-1-CU30-C16
2.4
30
263AC-TCK-1-NI15-C16
263AC-TCK-2-CU30-C40
3
DN40CF
263AC-TCK-1-CU60-C40
4
60
263AC-TCK-2-CU60-C40
263AC-TCK-1-CU150-C40
6.35
150
263AC-TCK-2-CU150-C40
a)熱電対導入端子の大気側は、プラスチックソケット付です。 真空側の接続はネジ留め式です。
b)ヒーター用電流導入端子の真空側接続は、ピンコネクターをご利用ください。
c)CFフランジの材質 :ステンレス316L CFフランジの仕様・寸法については こちら をご覧ください。
ヒーター用電流導入端子b)
263AC-TCC-1-CU15-C16
263AC-TCC-1-NI5-C16
263AC-TCC-1-CU30-C16
263AC-TCC-1-NI15-C16
263AC-TCC-2-CU30-C40
263AC-TCC-1-CU60-C40
263AC-TCC-2-CU60-C40
263AC-TCC-1-CU150-C40
263AC-TCC-2-CU150-C40