超高真空部品、カプトン電線、真空コネクター、電流導入端子等

特　徴

カプトンフォイルヒーター
●     低温で使用可能
●     薄い
●     曲げやすい
●     HV、UHV対応

小型セラミックスヒーター
●     超小型
●     高耐熱温度
●     高出力
●     UHV対応

真空チャンバー内の限られた空間で使用するのに適した、薄型カプトンフォイルヒーター、小型セラミックス
ヒーターをご用意しています。

これらのヒーターは、熱容量が小さく接触面積が大きいため、電流変化に対する反応が速く、温度センサー、
温度コントローラー、冷却システム等とあわせて、精密な温度制御が可能です。

　ヒーター仕様

※　ヒーターを真空内で電気接続するための電線、電流導入端子、コネクター等については、
　　 ■ 真空電気部品の各項目をご覧ください。

※　真空内で温度制御するためのセンサーとして、真空用熱電対線、熱電対用導入端子などをご用意してい
　　ます。

※ 上記ヒーターの他、マイカ（雲母）ヒーター、セラミックヒーター等（特注）の対応も可能です。

　カプトンフォイルヒーターの使用について

・真空内では空気の熱伝導がないため、必ずヒーター
素子の両面全体を隙間なく金属板に接触させてから
ご利用ください。

・電線とヒーター接続部はヒーター本体より厚いため、
金属板で挟まないでください。

・各ヒーターの出力、電流、電圧値は40℃で使用する場合の値のため、高温で使用する場合は、出力を右表のように減じてください。

使用温度[℃]	40	120	160
最大出力目安値 [％]	100	55	20

2011.11.15更新