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◆ 真空内外電気接続部品 |
4) その他同軸接続部品(SMB、MHV、SHV、N、TRIAX) |
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特 徴 |
● 超高真空対応
● 耐高電圧
● 大気側規格コネクター
● 種類が豊富 |
真空用その他同軸接続部品として、電流導入端子、同軸ピン対応ケーブルをご用意しています。 これらの電流導入端子の大気側は、一般的に使用されているSMB、MHV、SHV、N、TRIAX(三重同軸)規格のコネクター、ケーブルの利用が可能です。
BNC、SMA規格の場合は、超高真空用同軸ケーブル、コネクター類、接続アクセサリーがありますので、 真空側も大気側と同規格の電気接続が可能です。 (BNC接続は こちら、SMA接続は こちら をご覧ください。)
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各同軸規格の仕様 |
分類 |
耐電圧[kV] |
対電流[A] |
インピーダンス[Ω] |
周波数[GHz] |
対応大気側 ケーブル [RG] |
用途 |
BNC |
0.5 |
3b) |
- |
- |
58 (174) d) |
一般 |
BNC50 |
1 |
3b) |
50 |
4c) |
58 (174) d) |
高周波 |
SMA50 |
1 |
3b) |
50 |
6.5c) |
174(58) d) |
高周波 |
SMA18G |
1 |
3b) |
50 |
18 |
402(セミフレ キシブル d) |
高周波 |
SMA40G(SMA-K) |
1 |
- |
50 |
40 |
セミリジッドd) |
高周波 |
SMB |
0.5 |
1 |
50 |
1 |
174A/U |
狭い空間 |
MHV |
5 |
3b) |
- |
- |
59B/U |
高電圧 |
MHV50 |
5 |
3b) |
50 |
0.1 |
58 (174) d) |
信号線、高電圧 |
SHV |
5 , 10, 20a) |
5 |
- |
- |
59B/U、 58、213 |
高電圧 |
SHV50 |
6 |
3 |
50 |
0.1 |
59B/U |
信号線、高電圧 |
N50 |
3 |
5 |
50 |
0.2 |
213/U, 214/U |
高周波(RF) |
7/16 |
4 |
1.8kW @1GHz |
50 |
7.5 |
213/U, 393 |
高周波(RF) |
TRIAX |
0.5 |
1b) |
- |
- |
- |
三重同軸、精密測定 など |
<備考>
a)5kV、10kVと20kVのタイプがあります。
b)電流導入端子の値です。 超高真空用同軸ケーブル(SMA、BNC、同軸ピン対応ケーブル)は1Aまでとなります。
c)真空側、大気側で同規格接続とする場合の値です。 真空側が同軸ピンタイプの電流導入端子を用いた接続の場合は0.1GHzとなります。
d)使用するコネクタータイプにより、括弧内のケーブル利用が可能です。
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電流導入端子 仕様 |
真空度 |
UHV ( 10-10 mbar ) a) |
ヘリウム漏れ量 |
5×10-10 mbar·l / s |
耐熱温度 |
300 ℃ |
絶縁材 |
セラミックス |
<備考>
a)低・中真空(101 〜10-4 mbar)環境へ高電圧を導入する場合は、放電が起こる可能性があります。 電流導入端子、接続ケーブルの選択、絶縁方法についてはお問合せください。
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同軸ピン対応ケーブルa) 仕様 |
真空度 |
UHV ( 10-10 mbar ) |
耐電圧 [V] |
500b) |
対電流 [A] |
1.0 |
インピーダンス [Ω] |
マッチングなし |
周波数 [GHz] |
高周波対応なし |
ピン直径 [mm] |
2.4 |
接続電線 |
カプトン絶縁被覆同軸ケーブル(311AC-KAP50) | |
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<真空側同軸ピンタイプ電流導入端子(BNC、MHV)(DN16CFフランジ)
+同軸ピン対応ケーブル(シールド差込型)>
<備考>
a)真空側が同軸ピンタイプの電流導入端子に接続する、UHV対応コネクター付ケーブルです。 BNC、BNC50、MHV、TRIAXに対応しています。 b)Allectra社ユーザーエンドコネクタ付ケーブルの耐電圧です。ユーザーエンドなしの耐電圧:1kVです。
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電流導入端子およびケーブル一覧 |
電流導入端子 |
BNC |
BNC
50 |
SMA
50 |
SMB |
MHV |
MHV50 |
SHV SHV 10,20 |
SHV
50 |
N
50 |
TRIAX |
真空側
同軸ピン
タイプa) |
シールド
絶縁なし |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
× |
シールド
絶縁有り |
× |
○ |
× |
× |
× |
× |
× |
× |
× |
UHV対応
ケーブル |
○ |
× |
× |
× |
○ |
× |
△b) |
× |
× |
× |
両側
規格
タイプ |
シールド
絶縁なし |
○ |
○ |
○ |
○ |
× |
○ |
× |
○ |
○ |
○c) |
シールド
絶縁有り |
× |
○ |
○ |
× |
× |
○ |
× |
○ |
○ |
UHV対応
ケーブル |
○ |
○ |
○ |
○ |
× |
○ |
× |
○ |
○ |
○ |
<備考>
a)同軸ピンタイプ電流導入端子の寸法については、こちら をご覧ください。
b)絶縁体露出タイプ(真空側)、10kV、20kVの場合は、ケーブルの接続ができません。
c)TRIAXのシールドは、内側絶縁:有り、外側絶縁:なし です。
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