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◆ 真空内外電気接続部品 |
5) D-sub 真空内外接続部品 |
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特 徴 |
● 真空内外接続部ともD-sub規格に対応
● 高真空、超高真空対応のコネクター
● カプトン絶縁被覆ケーブル
● 特注品対応可能 |
真空側にD-sub規格の真空対応コネクター、ケーブルを利用し、大気側は一般的なD-subコネクター、 ケーブルを利用することで、真空側、大気側とも同じ結線方法による電気接続が可能です。
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D-sub電流導入端子仕様 |
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溶接用 タイプ |
CF フランジ タイプ |
KF、ISO フランジ タイプ |
本体材質 |
オーステナイトステンレス鋼 |
ピン材質 |
Ni:Fe合金、Niメッキ |
耐電圧 |
500V / pin |
耐電流 |
5A / pin (全ピン負荷max.3A) |
耐熱温度 |
220°C |
150°C |
耐温度変化 |
25 K/min. |
真空度 |
10-11 mbar |
10-8 mbar |
He漏れ率 |
5×10-10 mbar・l / s | |
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<備考>
・コネクターネジ留め穴:UNC-C40タップ、深さ4mm(D-sub規格)
・電流導入端子の大気側・真空側ともプラグ仕様です。 絶縁材はガラス、真空側はセラミックスキャップ付です。
・ピン保護のため、コネクター部が端子本体のハウジングで囲まれています。
・溶接用、CFフランジタイプの電流導入端子は低温での利用が可能です。
・溶接用電流導入端子の推奨溶接方法は、充填材なしのTIG溶接、電子ビーム、またはレーザー溶接 です。
<液体窒素で検査後の
溶接用D-sub電流導入端子> |
<溶接用D-sub電流導入端子、
HV対応コネクターおよびピン> |
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D-sub真空用ケーブル |
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超高真空用ケーブル |
高真空用ケーブル |
ケーブル絶縁被覆 |
カプトン |
カプトン or PTFE |
接続コネクター |
セラミックスコネクター PEEKコネクター |
高真空用コネクター |
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超高真空用 セラミックスコネクター |
超高真空用 PEEKコネクター |
高真空用コネクター |
本体材質 |
非多孔性セラミックス |
PEEK |
ガラス入重合体a) |
ケース材質 |
− |
− |
ステンレス |
耐熱温度範囲 |
4K 〜 300°C |
4K 〜 250°C |
−55°C 〜 110°C |
真空度 |
10-11 mbar |
10-11 mbar |
10-8 mbar |
<備考>
a)DAP:ジアリルフタレート樹脂
<超高真空用
セラミックスコネクター> |
<超高真空用
PEEKコネクター> |
<高真空用コネクター> |
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超高真空用コネクター (セラミックス、PEEK) 対応ハウジング |
高真空用コネクター 対応ハウジング |
材質 |
アルミニウム |
ニッケルメッキ亜鉛 |
耐熱温度範囲 |
< 300°C |
−55°C 〜 110°C |
真空度 |
10-11 mbar |
10-8 mbar |
<高真空用コネクター、
ハウジング付(D-sub15ピン)> |
<超高真空用コネクター(PEEK)、
ハウジング付(D-sub9ピン)> |
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ピン タイプ |
材 質 |
対応 電線直径[ mm ] |
備 考 |
標準 |
金メッキ銅合金b)、 外周一部ステンレス |
0.25 ~ 1 |
ピン脱着部分の外周部を筒状のステンレスで覆っているため、剛性がある |
B |
金メッキ銅合金b) |
0.25 ~ 1 |
標準タイプと異なり、コネクターを頻繁に脱着する環境には適さない |
S |
金メッキ銅合金b)、 外周一部ステンレス |
0.08 ~ 0.5 |
細い電線に対応 |
NH |
金メッキ銅合金b) |
0.25 ~ 1 |
コネクターを利用せず、電流導入端子に直接差し込むタイプ |
Ni |
ニッケルメッキ銅合金 |
0.25 ~ 1 |
半導体加工における環境に適する |
K |
クロメル、アルメル |
0.25 ~ 1 |
Kタイプ熱電対接続用c) |
<備考>
a)ピンは全て超高真空対応です。
b)ニッケルメッキ上に金メッキをしているため、ピンに多少磁性があります。 非磁性のピンをご希望の場合はお問合せください。
c)N、Tタイプ熱電対ピンも可能です。 |
2011.9.6更新 | |
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